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椭偏仪
应用领域：半导体、微电子、MEMS、通讯、数据 存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化 学、生物、医药 可测材料：半导体、介电材料、有机高分子聚合物 、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层 膜物质和石墨烯等等
仪器特点技术优势：
1、光谱范围根据配置可选，从紫外到红外
2、自动变入射角度测量
3、步进补偿器扫描测量模式
4、宽带超消色差补偿器
5、多象限误差消除方法
6、ETES 功能强大的光谱椭偏测量与分析软件
7、ETES 向导设计，简化操作，适合新手和专家
8、ETES 专有的材料数据库和预设的软件应用程序，简化建模
9、先进的旋转补偿器测量技术：Delta 测量范围0-360°，无测量
10、死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响
11、秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型10 秒
12、原子层量级的检测灵敏度：测量精度可达0.05nm
13、视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小认为误差
14、自动调节多入射角度：自动入射角度结构设计，保证了仪器测量的
15、灵活性、重复性和高稳定性，尤其适合于复杂的样品的测量场合
16、反射率/透射率测量：对样品进行光谱透射率和反射率测量
17、整体集成机柜：仪器整体集成在一个机柜中，节省占地面积
上海丰竹电子有限公司成立2014年8月，主要行銷半导 体测试及生产设备的高新技术企业